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ASML(阿斯麦)官宣:卖给中芯国际的是DUV设备

【TechWeb】3月5日消息,前日中芯国际发布公告称,公司根据批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间就购买阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单,阿斯麦购买单的总代价为1,201,598,880美元(约12亿美元)。 1 根据ASML公布的信息,此次交易购买的是DUV光刻技术设备。 2 据悉台积电N7(第一代7nm工艺)和N7P(第二代7nm工艺)为DUV光刻机制造,而其N7+(第三代7nm工艺)则由更先进的EUV光刻机制造,此次购买未涉及EUV光刻机。中芯国际已有DUV光刻机,此次购买DUV光刻机主要用于扩充产能。据传闻,此次购买设备型号或包含NXT 1980Di和NXT2050i。

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